晶圆晃动现象困扰三星、台积电多年 韩国设备智能化业者有解
- 江承谕／首尔
半导体先进制程持续推进，影响良率与设备稳定性的因素更加复杂，「晶圆晃动（wobbling）」现象为长期困扰三星电子（Samsung Electronics）、SK海力士（SK Hynix）与台积电等半导体业者的问题之一，韩国设备智能化解决方案业者GSF Solu...
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