蔡司扩建德国厂房 缓解ASML EUV产能瓶颈
- 杨智家／综合报导
荷兰ASML在最新年度报告中指出，其微影设备的产出受到独家光学元件供应商卡尔蔡司半导体制造技术（Carl Zeiss SMT）的产能限制。为打破瓶颈，蔡司证实正在德国南部...
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